NPGS為直寫式EBL系統，它以既有的SEM等為基礎，外加電子束控制系統，通過電腦界面控制電鏡中電子束的矢量掃描，可以直接刻寫圖形。NPGS系統不影響原SEM本身的圖像觀測等功能。功能強大、操作簡便、使用靈活。NPGS是研究半導體技術、光電子技術、微機電系統及微結構研發的重要工具，并可用于多種微器件的制作。歡迎大家報名！

培訓儀器：NPGS電子束曝光系統

培訓內容：儀器基本操作使用

培訓時間：2023年6月29日（周四）14:00-16:00

培訓地點：清華大學醫學科學樓C117

聯系方式：楊老師 010-62799845 

報名方式：

訪問鏈接：http://sapphireking.mikecrm.com/RgILqyb

或掃描二維碼：

備注：

1. 本次培訓校內外均免費，用戶可自備樣品。

2. 本學期細胞平臺會根據用戶需要提供多次小型上機培訓，為保證培訓效果，每次培訓人數上限為4名，報完為止。

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